1 Descrizione del prodotto

Il profilometro ottico di superficie 3D SuperView W1 può essere ampiamente usato nella produzione di semiconduttori e nella prova del processo di imballaggio, schermi di vetro elettronici 3C e i loro accessori di precisione, elaborazione ottica, materiali micro nano e produzione, parti automobilistiche, dispositivi MEMS e altre industrie di elaborazione di ultra precisione, così come aerospaziale, industria della difesa, istituti di ricerca e altri campi. Può misurare la superficie di vari oggetti che vanno da ultra liscia a ruvida, bassa riflettività ad alta riflettività, e la rugosità, planarità, contorno micro geometrico, curvatura, ecc. dei pezzi da nanometro a livelli micrometrici. Fornisce più di 300 parametri 2D e 3D come criteri di valutazione basati sui quattro principali standard nazionali ed esteri di ISO/ASME/EUR/GBT.

2,Caratteristiche del prodotto

1) Capace di ricostruzione e misurazione 3D del contorno di vari tipi di microstrutture della superficie del campione;

2) in grado di rilevare rugosità superficiale e micro contorni, con rugosità che varia da 0.1nm a decine di micrometri;

3) Capace di funzioni di elaborazione dati quali livellamento, rimozione di forma, denoising e filtraggio;

4) in grado di analisi dei parametri superficiali quali l'analisi della rugosità, l'analisi del contorno, l'analisi strutturale e l'analisi funzionale;

5) Dotato di funzioni di automazione quali autofocus, misura automatica, misura automatica multi area e misura automatica della cucitura;

6) Dotato di funzioni di analisi rapida e batch quali analisi di un clic e analisi multi file;

7) In grado di esportare report di dati in Word, Excel e altri formati.

3,Campi di applicazione

Misurare e analizzare le caratteristiche morfologiche della superficie come planarità, rugosità, ondulazione, contorno superficiale, difetti superficiali, usura, corrosione, pori vuoti, altezza del gradino, deformazione piegante e lavorazione di vari prodotti, componenti e materiali.

Esempio di applicazione:

semiconduttore. wafer di silicio lucidato, wafer di silicio diluente, wafer IC
3C Elettronica Rugosità del vetro zaffiro, difetti negli stampi del guscio metallico del telefono cellulare e differenze di altezza negli schermi dell'inchiostro del telefono cellulare
Lavorazione ad altissima precisione lente ottica	Lavorazione di precisione Lame motore
Lavorazione di precisione Testa magnetica diamantata a forma di piramide	Blocco campione standard Passo singolo inciso, rugosità multi incisa

4,Caratteristiche prestazionali

1. Alta precisione e alta ripetibilità

1) Il sistema di misura è composto da tecnologia di interferenza ottica, modulo di scansione della direzione Z di precisione e algoritmo di ricostruzione 3D eccellente per garantire l'alta precisione di misura;

2) Il sistema di isolamento unico può efficacemente isolare la maggior parte delle vibrazioni con frequenze superiori a 2Hz, eliminare il rumore di vibrazione del suolo e il rumore di vibrazione dell'onda sonora nell'aria, garantire l'uso stabile dello strumento nella maggior parte degli ambienti dell'officina di produzione e raggiungere la ripetibilità di misura estremamente elevata.

2. Software di misurazione e analisi per il funzionamento integrato

1) la misurazione e l'analisi sono azionati sulla stessa interfaccia senza commutazione e i dati di misura vengono conteggiati automaticamente, raggiungendo la funzione di misurazione rapida in lotti;

2) finestra visiva, conveniente per gli utenti per osservare il processo di scansione in tempo reale;

3) Combinato con la funzione di misurazione automatica dei modelli di analisi personalizzati, può completare automaticamente il processo di misurazione e analisi di più aree;

4) I cinque moduli funzionali di analisi geometrica, analisi di rugosità, analisi strutturale, analisi di frequenza e analisi funzionale sono completi;

5) analisi di un clic, analisi multi file, combinazione gratuita di elementi di analisi salvati come modelli di analisi, analisi di un clic del campione batch e fornendo analisi dei dati e funzioni statistiche del grafico;

6) Fino a 300 tipi di parametri 2D e 3D possono essere misurati secondo standard quali ISO/ASME/EUR/GBT.

3. Joystick preciso

Il joystick con funzioni integrate di regolazione dello spostamento nelle direzioni X, Y e Z può completare rapidamente attività di pre-misurazione come traslazione dello stadio, messa a fuoco della direzione Z e ricerca delle strisce.

4. Doppie misure di protezione contro le collisioni

　　Oltre al software di base ZSTOP che imposta il limite inferiore di spostamento dell'asse Z per la protezione dalle collisioni, è presente anche un sensore meccanico ed elettronico progettato sull'asse Z. Quando la lente tocca la superficie del campione, lo strumento entra automaticamente in uno stato di arresto di emergenza, massimizzando la protezione dello strumento e riducendo il rischio di funzionamento umano.

5. Sistema di isolamento di vibrazione di galleggiamento dell'aria a doppio canale

Può essere collegato ad una fonte di gas stabile presso il sito del cliente o ad un compressore d'aria silenzioso standard e può funzionare stabilmente anche senza una fonte di gas esterna.

5,Caso di applicazione:

6,Campione Test Report:

　　Clicca sull'immagine o sul testo nella tabella per visualizzare i dati dettagliati del report

Si prega di notare che a causa di esigenze di sviluppo del mercato e di sviluppo del prodotto, il contenuto pertinente di queste informazioni sul prodotto può essere aggiornato o modificato in qualsiasi momento in base alle circostanze reali senza preavviso.